近期,一則消息在各大視頻平臺(tái)廣為傳播,稱清華大學(xué)EUV項(xiàng)目把ASML的光刻機(jī)巨大化,實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化,並表示這個(gè)項(xiàng)目已經(jīng)在雄安新區(qū)落地。
對(duì)此,中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司(下稱中國(guó)電子院)9月18日發(fā)聲,稱該項(xiàng)目並非網(wǎng)傳的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠,而是北京高能同步輻射光源項(xiàng)目(HEPS)。
北京高能同步輻射光源項(xiàng)目坐落於北京懷柔雁棲湖畔,是國(guó)家「十三五」重大科技基礎(chǔ)設(shè)施,它是我國(guó)第一臺(tái)高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項(xiàng)目早在2019年就開始建設(shè),將於2025年底投入使用。
中國(guó)電子院解釋稱,HEPS可以看成是一個(gè)超精密、超高速、具有強(qiáng)大穿透力的巨型X光機(jī),它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進(jìn)行立體掃描,從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界,HEPS是進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗(yàn)的大科學(xué)裝置,並不是網(wǎng)傳的光刻機(jī)工廠。
頂圖:北京高能同步輻射光源項(xiàng)目實(shí)拍圖。圖源中國(guó)電子院